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于伟华

作品数：13 被引量：9H指数：2
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江苏中能硅业科技发展有限公司
研究主题：多晶硅 硅 三氯氢硅 硅烷 氯硅烷
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江苏协鑫特种材料科技有限公司
研究主题：碳化硅涂层 石墨 反应气体 晶圆 硅
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