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多新中

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司更多>>
发文基金：上海市浦江人才计划项目国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

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中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
研究主题：半导体器件 半导体结构 栅极结构 刻蚀 介质层
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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