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程敏

作品数：1 被引量：5H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院更多>>
发文基金：河北省教育厅科学技术研究计划河北省科学技术研究与发展计划项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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