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王启元

作品数:32 被引量:19H指数:3
供职机构:中国科学院半导体研究所更多>>
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领域

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王俊
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:半导体激光器 衬底 硅衬底 电极接触 波导
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王建华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:热退火 氧化铝 硅衬底 MOCVD AL
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邓惠芳
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:热退火 AL SOI 硅 掺锑
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郁元桓
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅 单晶硅 MOCVD AL SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林兰英
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:半导体材料 氮化镓 分子束外延 砷化镓 半导体
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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蔡田海
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅 单晶硅 集成电路 硅外延片 氢
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沈文娟
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氧化锌薄膜 衬底 氧化铝薄膜 硅衬底 缓冲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭利文
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:SOI材料 MOCVD AL SOI SI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
昝育德
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:AL 掺锑 氧沉淀 硅衬底 热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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