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许谷城

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周嘉
供职机构：复旦大学
研究主题：液滴 电极 流控技术 MEMS 极板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
郭育林
供职机构：复旦大学
研究主题：微悬臂梁 硅 光致 形变 AL
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄宜平
供职机构：复旦大学
研究主题：MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
鲍敏杭
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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