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田大宇
作品数:
138
被引量:78
H指数:4
供职机构:
北京大学
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合作作者
张大成
北京大学微电子学研究院
李婷
北京大学微电子学研究院
王玮
北京大学
罗葵
北京大学微电子学研究院
杨芳
北京大学
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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供职机构
所获资助
研究领域
李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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王玮
供职机构:北京大学
研究主题:单晶金刚石 金刚石 场效应晶体管 硅基 刻蚀
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罗葵
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 成品率 微电子机械系统 淀积 湿法腐蚀
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杨芳
供职机构:北京大学
研究主题:刻蚀 微电子机械系统 MEMS器件 压阻式压力传感器 牺牲层
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刘鹏
供职机构:北京大学
研究主题:艺术博物馆 前驱物 衬底 气相外延 MEMS器件
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何军
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 刻蚀 成品率 芯片尺寸 结构层
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赵丹淇
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 牺牲层 成品率 单片集成 刻蚀
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黄贤
供职机构:北京大学
研究主题:MEMS器件 成品率 芯片尺寸 结构层 压阻式压力传感器
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所获资助
研究领域
张录
供职机构:北京大学
研究主题:硅 探测器 离子注入 PIN光电二极管 反向漏电流
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