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马月英

作品数：51 被引量：114H指数：6
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
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曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
裴舒
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：多层膜 软X射线 均匀性 软X射线多层膜 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕俊霞
供职机构：同济大学
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 正入射 光学元件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈星旦
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：近红外光谱 近红外光谱分析 软X射线 多层膜 偏最小二乘法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 极紫外投影光刻 集成电路 磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王占山
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室
研究主题：软X射线 多层膜 正入射 软X射线多层膜 随机数
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
金春水
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：光学元件 极紫外 多层膜 极紫外光刻 面形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宏刚
供职机构：中国科学院
研究主题：抛光 超光滑表面 超精密加工 软X射线 多层膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题：软X射线 极紫外 激光等离子体 微通道板 反射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹健林
供职机构：中国科学院长春光学精密机械研究所
研究主题：软X射线 多层膜 软X射线多层膜 表面粗糙度 反射率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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