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张振厚

作品数：87 被引量：137H指数：6
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王光玉
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题：真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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秦柏林
供职机构：中国科学院
研究主题：泵用 罗茨 干式真空泵 轴封 罗茨泵
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张健
供职机构：中国科学院金属研究所
研究主题：单晶高温合金 定向凝固 镍基单晶高温合金 高温合金 电火花沉积
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孔祥玲
供职机构：中国科学院
研究主题：真空泵 泵用 轴封 屏蔽电机 出气
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赵崇凌
供职机构：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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李士军
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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洪克超
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张冬
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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薛玉茹
供职机构：中国科学院
研究主题：干式真空泵 控制装置 数字量输入 倍压整流 高压测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐宝利
供职机构：中国科学院
研究主题：PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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