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茹国平
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82
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复旦大学微电子研究院
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国家自然科学基金
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合作作者
李炳宗
复旦大学信息科学与工程学院电子...
屈新萍
复旦大学信息科学与工程学院电子...
蒋玉龙
复旦大学
蒋玉龙
复旦大学微电子研究院
张卫
复旦大学
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI SI
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:NISI 固相反应 硅化物 课堂 超浅结
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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于浩
供职机构:复旦大学
研究主题:金属 存储器 微电子 锗 测量信号
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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郑燕兰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:分子束外延 MBE生长 锑化物 INGAASSB 激光器
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徐蓓蕾
供职机构:复旦大学
研究主题:固相外延 固相反应 接触特性 肖特基势垒 SI
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张永刚
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:INGAAS 分子束外延 光电探测器 缓冲层 INP基
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