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刘玲
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中国科学院光电技术研究所
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合作作者
罗先刚
中国科学院光电技术研究所
王长涛
中国科学院光电技术研究所
刘凯鹏
中国科学院光电技术研究所
冯沁
中国科学院光电技术研究所
赵泽宇
中国科学院光电技术研究所
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罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 表面等离子体 掩模 金属
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王长涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 掩模 表面等离子体 衍射
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刘凯鹏
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 膜层 湿法腐蚀
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冯沁
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 多层膜 膜层 湿法腐蚀
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赵泽宇
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 光刻 表面等离子体 掩模 衍射
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刘尧
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 超分辨 湿法腐蚀 线宽 干法刻蚀
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邢卉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 湿法腐蚀 干法刻蚀 膜层 线宽
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方亮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:视场 掩模 棱镜 光程差 衍射
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潘丽
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:掩模 湿法腐蚀 微透镜列阵 微透镜阵列 干法刻蚀
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王彦钦
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:超分辨 衍射 表面等离子体 光刻 掩模
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