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蔡建
作品数:
21
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
航空宇航科学技术
自动化与计算机技术
电子电信
一般工业技术
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合作作者
贾少霞
中国科学院微电子研究所
杨景华
中国科学院微电子研究所
张兴华
中国科学院微电子研究所
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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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所获资助
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贾少霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张兴华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:脉冲激光烧蚀 微推进 等离子体加速 碘 高频脉冲
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相关人物
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