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蔡建

作品数:21 被引量:0H指数:0
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
相关领域:航空宇航科学技术自动化与计算机技术电子电信一般工业技术更多>>

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机构

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地区

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杨景华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:等离子体 滚轴 常压 放电装置 自由基
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贾少霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:自由基 等离子体 常压等离子体 工作气体 推进器
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张兴华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:脉冲激光烧蚀 微推进 等离子体加速 碘 高频脉冲
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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