2025年1月31日
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李欣
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128
被引量:180
H指数:7
供职机构:
哈尔滨工业大学
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发文基金:
国家自然科学基金
河北省自然科学基金
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合作作者
李宗哲
哈尔滨工业大学
陈震宇
哈尔滨工业大学
刘杨
哈尔滨工业大学
陈兴林
哈尔滨工业大学
强盛
哈尔滨工业大学
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陈震宇
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 光刻机 多自由度 垂向
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陈兴林
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:光刻机 工件台 神经网络 物理仿真 微分对策
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刘杨
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:超精密 光刻机 工件台 物理仿真 气浮
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供职机构
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李宗哲
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 气浮 垂向 伺服机构 三轴气浮台
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强盛
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:物理仿真 三轴气浮台 质心 气浮 光刻机
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马晔
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:三轴气浮台 质心 物理仿真 实验台 气浮台
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周乃新
供职机构:哈尔滨工业大学航天学院
研究主题:物理仿真 气浮台 三轴气浮台 质心 空间模拟器
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付振宪
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:气浮台 惯导平台 物理仿真 三轴气浮台 质心
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王伟峰
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:质心 光刻机 物理仿真 调平 三轴气浮台
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徐洪波
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:辐射制冷 单分散 光子晶体 光热 胶体晶体
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