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蔡燕明
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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吴亚明
中国科学院上海微系统与信息技术...
李四华
中国科学院上海微系统与信息技术...
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吴亚明
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
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李四华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
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