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蔡燕明

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>

合作作者

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吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李四华
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：驱动器 微机电系统 MEMS 苯并环丁烯 体硅工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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