2024年11月6日
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金璐
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H指数:1
供职机构:
东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
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发文基金:
国家高技术研究发展计划
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一般工业技术
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合作作者
刘坤
东北大学机械工程与自动化学院真...
巴德纯
东北大学机械工程与自动化学院真...
王光玉
中国科学院
常学森
东北大学机械工程与自动化学院真...
张振厚
中国科学院
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巴德纯
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院
研究主题:磁控溅射 真空 故障诊断 抽气 干泵
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刘坤
供职机构:辽宁科技大学
研究主题:数值模拟 干泵 氧枪 高真空 炉外精炼
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王光玉
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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供职机构
所获资助
研究领域
张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
常学森
供职机构:东北大学机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心
研究主题:亲水性 干泵 干式真空泵 高真空 磁控溅射
发表作品
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供职机构
所获资助
研究领域
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