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王洪宇
作品数:
8
被引量:12
H指数:2
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
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电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
胡晓霞
中国电子科技集团公司第四十五研...
吕磊
中国电子科技集团公司第四十五研...
杨师
中国电子科技集团公司第四十五研...
王文举
中国电子科技集团
谭立杰
中国电子科技集团
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杨师
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 集成电路 SEMI 半导体制造设备 抛光
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所获资助
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胡晓霞
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:传输系统 晶圆 微波测试 硅片 机械手设计
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吕磊
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆 传输系统 飞针测试 硅片 机械手设计
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蒲继祖
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:瓷片 LTCC 线性电机 丝网印刷 低温共烧陶瓷
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杨元元
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:CMP 化学机械抛光 氮化镓 半导体材料 碳化硅
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谭立杰
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:晶圆 直线电机 激光加工 激光 伺服控制
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王文举
供职机构:中国电子科技集团
研究主题:机械手 晶圆 大直径
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史霄
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:化学机械抛光 CMP CMP技术 氮化镓 晶片
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张建亮
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:瓷片 LTCC 硅电池 线性电机 太阳能
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赵立华
供职机构:中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题:半导体设备 Z轴 飞针测试 瓷片 LTCC
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