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郑树琳
作品数:
9
被引量:4
H指数:2
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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合作作者
宋亦旭
清华大学计算机科学与技术系
孙晓民
清华大学计算机科学与技术系
杨宏军
清华大学计算机科学与技术系
贾培发
清华大学计算机科学与技术系
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宋亦旭
供职机构:清华大学
研究主题:刻蚀 元胞 微电子加工 机器人 刻蚀工艺
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供职机构
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孙晓民
供职机构:清华大学
研究主题:刻蚀 元胞 微电子加工 OSEK 汽车电子
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杨宏军
供职机构:清华大学
研究主题:微电子加工 元胞 刻蚀 元胞自动机 等离子体刻蚀
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供职机构
所获资助
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贾培发
供职机构:清华大学
研究主题:智能机器人 机器人 微电子加工 虚拟现实 刻蚀
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