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于大洋

作品数：6 被引量：16H指数：3
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划深圳市科技计划项目更多>>
相关领域：一般工业技术理学更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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传媒

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  • 1个物理学报

地区

  • 3个广东省
  • 2个辽宁省
共 5 条 记 录，以下是 1-5
张以忱
供职机构：东北大学
研究主题：真空 真空系统 真空技术 磁控溅射 非平衡磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
巴德纯
供职机构：东北大学机械工程与自动化学院
研究主题：磁控溅射 真空 故障诊断 干泵 抽气
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨宏伟
供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题：非平衡磁控溅射 电弧离子镀 DLC膜 复合离子 镀膜技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘艳文
供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题：AL含量 AL XN TI 非平衡磁控溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐路
供职机构：深圳国家863计划材料表面工程技术研究开发中心
研究主题：掺杂 DLC 非平衡磁控溅射 性能研究 电弧离子镀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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