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张青竹

作品数:173 被引量:9H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项国家自然科学基金北京市科技新星计划更多>>
相关领域:电子电信自动化与计算机技术一般工业技术文化科学更多>>

领域

  • 60个电子电信
  • 44个自动化与计算...
  • 36个文化科学
  • 35个一般工业技术
  • 35个理学
  • 34个电气工程
  • 27个金属学及工艺
  • 26个化学工程
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  • 13个医药卫生
  • 13个农业科学
  • 11个矿业工程
  • 11个轻工技术与工...
  • 9个建筑科学
  • 6个生物学
  • 6个天文地球
  • 6个核科学技术
  • 4个航空宇航科学...

主题

  • 50个刻蚀
  • 47个退火
  • 47个半导体
  • 44个晶体管
  • 44个衬底
  • 43个纳米
  • 42个电路
  • 36个纳米线
  • 35个导体
  • 35个载流子
  • 35个栅极
  • 34个氮化
  • 34个堆叠
  • 33个电极
  • 33个叠层
  • 31个电阻
  • 30个电子设备
  • 30个氧化层
  • 30个氧化物
  • 25个氮化硅

机构

  • 48个中国科学院微...
  • 8个清华大学
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  • 5个贵州大学
  • 5个中国科学院大...
  • 4个北京有色金属...
  • 3个贵州民族大学
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  • 3个中国科学院微...
  • 2个北方工业大学
  • 2个中国科学技术...
  • 2个中国科学院研...
  • 1个复旦大学
  • 1个贵阳学院
  • 1个东南大学
  • 1个电子科技大学
  • 1个华东师范大学
  • 1个兰州大学
  • 1个西安理工大学

资助

  • 34个国家自然科学...
  • 22个国家科技重大...
  • 13个国家重点基础...
  • 9个国家高技术研...
  • 8个北京市自然科...
  • 7个贵州省科学技...
  • 6个北京市科技新...
  • 5个贵州省自然科...
  • 5个贵州大学自然...
  • 4个博士科研启动...
  • 4个国际科技合作...
  • 3个贵州省高层次...
  • 3个中国航空科学...
  • 3个中国科学院“...
  • 3个中国科学院战...
  • 2个国家科技支撑...
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传媒

  • 26个半导体技术
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  • 5个电子世界
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地区

  • 54个北京市
  • 6个贵州省
  • 1个甘肃省
61 条 记 录,以下是 1-10
殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文武
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 刻蚀 纳米线 半导体
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李永亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 半导体 晶体管 源区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 沟道 纳米线 电子设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 堆栈 叠层 纳米片 半导体材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
闫江
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 掩模 栅极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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