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李海亮
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中国科学院微电子研究所
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谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
牛洁斌
中国科学院微电子研究所
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工...
李冬梅
中国科学院微电子研究所
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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牛洁斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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李冬梅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
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王冠亚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衍射光栅 大高宽比 电子束光刻 芯片 入射光
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刘子维
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衍射光栅 谐波污染 光栅结构 透光 单级
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吴坚
供职机构:北京工业大学
研究主题:生物芯片 流控 分析化学 微通道 微加工
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杜宇禅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:表面等离子体共振 传感器结构 传感器 衬底 半导体工艺
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束曝光 电子束直写 抗蚀剂 电子束
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