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谢琦
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复旦大学
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合作作者
屈新萍
复旦大学信息科学与工程学院微电...
茹国平
复旦大学信息科学与工程学院微电...
李炳宗
复旦大学信息科学与工程学院微电...
蒋玉龙
复旦大学
高滋
复旦大学
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
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研究主题:原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
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乐英红
供职机构:复旦大学
研究主题:催化剂 丙烷 脱氢 沸石 SUB
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于浩
供职机构:复旦大学
研究主题:金属 存储器 微电子 锗 测量信号
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高滋
供职机构:复旦大学
研究主题:催化剂 沸石 ZRO SO 分子筛
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