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陈扬辉

作品数:3 被引量:13H指数:1
供职机构:上海交通大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家科技支撑计划更多>>
相关领域:理学金属学及工艺更多>>

领域

  • 3个金属学及工艺
  • 3个一般工业技术
  • 3个理学
  • 2个电子电信
  • 2个电气工程
  • 1个化学工程
  • 1个历史地理

主题

  • 3个多层膜
  • 3个硬质
  • 3个硬质薄膜
  • 3个碳化钒
  • 3个微结构
  • 3个力学性能
  • 3个纳米
  • 3个纳米多层膜
  • 3个溅射
  • 3个反应磁控溅射
  • 3个磁控
  • 3个磁控溅射
  • 3个力学性
  • 3个N
  • 3个TIN
  • 1个单层膜
  • 1个氮分压
  • 1个氮化
  • 1个氮化硅
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机构

  • 3个上海交通大学
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  • 1个中国科学院
  • 1个中国工程物理...
  • 1个交通大学
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 3个国家自然科学...
  • 1个国家科技支撑...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个内蒙古自治区...
  • 1个上海市科委纳...
  • 1个上海市科学技...
  • 1个上海市自然科...
  • 1个中国工程物理...
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传媒

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地区

  • 3个上海市
3 条 记 录,以下是 1-3
李戈扬
供职机构:上海交通大学
研究主题:纳米多层膜 微结构 力学性能 超硬效应 反应溅射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
乌晓燕
供职机构:上海交通大学
研究主题:纳米多层膜 超硬效应 SI 微结构 TIN
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李广泽
供职机构:上海交通大学
研究主题:力学性能 微结构 反应磁控溅射 ZRN 厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
共1页<1>
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