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项霞
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供职机构:
河北工业大学
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
杨立兵
河北工业大学
高宝红
河北工业大学
刘利宾
河北工业大学
檀柏梅
河北工业大学
田雨
河北工业大学
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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刘利宾
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光 CMP 化学机械抛光 去除速率 插塞
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田雨
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 粗糙度 表面粗糙度 磨料
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李振霞
供职机构:河北工业大学
研究主题:AL-MG 计算机硬盘 计算机 机械抛光 化学机械抛光
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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杨立兵
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 抛光 化学机械平坦化 抛光液 粗糙度
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高宝红
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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