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张利国
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中国科学院
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机械工程
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合作作者
郭丽娟
中国科学院
王光玉
中国科学院
张振厚
中国科学院
薛玉茹
中国科学院
张宁
中国科学院
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郭丽娟
供职机构:中国科学院
研究主题:干式真空泵 自动报警 控制装置 数字量输入 数字量输出
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王光玉
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 干式真空泵 轴封 泵用 轴承腔
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张振厚
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 泵用 轴封 干式真空泵 罗茨
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薛玉茹
供职机构:中国科学院
研究主题:干式真空泵 控制装置 数字量输入 倍压整流 高压测量
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张宁
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光电经纬仪 图像 网络 调制传递函数 平行光管
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秦柏林
供职机构:中国科学院
研究主题:泵用 罗茨 干式真空泵 轴封 罗茨泵
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刘在行
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:真空泵 轴承腔 涡旋真空泵 轴封 转子
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殷涛
供职机构:中国科学院
研究主题:KH G1 红外测温仪
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赵崇凌
供职机构:中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
研究主题:PECVD 氮化硅 进气 卸载 装载
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从恕敏
供职机构:中国科学院
研究主题:KH G1 红外测温仪
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