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赵龙
作品数:
13
被引量:40
H指数:4
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科学技术发展基金
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相关领域:
电子电信
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理学
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合作作者
陈光焱
中国工程物理研究院电子工程研究...
施志贵
中国工程物理研究院电子工程研究...
彭勃
中国工程物理研究院电子工程研究...
郑英彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
武蕊
中国工程物理研究院电子工程研究...
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陈光焱
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 MEMS G值 开关
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张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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供职机构
所获资助
研究领域
郑英彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 太赫兹 键合 加速度计
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供职机构
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武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
发表作品
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供职机构
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
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研究领域
袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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所获资助
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何晓平
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
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所获资助
研究领域
吴嘉丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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