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边征
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3
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供职机构:
河北工业大学
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发文基金:
河北省教育厅科学技术研究计划
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
肖文明
河北工业大学信息工程学院微电子...
檀柏梅
河北工业大学信息工程学院微电子...
牛新环
河北工业大学信息工程学院微电子...
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
王胜利
河北工业大学信息工程学院微电子...
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肖文明
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅太阳电池 多晶硅片
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王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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李振霞
供职机构:河北工业大学
研究主题:AL-MG 计算机硬盘 计算机 机械抛光 化学机械抛光
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孙业林
供职机构:河北工业大学
研究主题:粗糙度 去除速率 化学机械抛光 表面粗糙度 蓝宝石衬底
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江炎
供职机构:河北工业大学
研究主题:AL-MG 化学机械抛光
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张研
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP SIO 混合磨料 微晶玻璃
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