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作品数：3 被引量：12H指数：1
供职机构：河北工业大学更多>>
发文基金：河北省教育厅科学技术研究计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信电气工程金属学及工艺更多>>

合作作者

领域

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  • 1个交通运输工程
  • 1个政治法律

主题

  • 9个化学机械抛光
  • 9个机械抛光
  • 8个抛光
  • 7个去除速率
  • 7个AL-MG
  • 6个抛光液
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  • 3个低K材料

机构

  • 9个河北工业大学
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  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
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资助

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传媒

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  • 2个硅酸盐学报
  • 2个润滑与密封
  • 2个中国表面工程

地区

  • 9个天津市
共 9 条 记 录，以下是 1-9
肖文明
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅太阳电池 多晶硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构：河北工业大学
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玉岭
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李振霞
供职机构：河北工业大学
研究主题：AL-MG 计算机硬盘 计算机 机械抛光 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙业林
供职机构：河北工业大学
研究主题：粗糙度 去除速率 化学机械抛光 表面粗糙度 蓝宝石衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炎
供职机构：河北工业大学
研究主题：AL-MG 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张研
供职机构：河北工业大学
研究主题：化学机械抛光 CMP SIO 混合磨料 微晶玻璃
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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