您的位置： 专家智库 > >

周庆奎

作品数：7 被引量：8H指数：2
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：电子电信机械工程更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 2个机械工程
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 1个建筑科学
  • 1个自然科学总论

主题

  • 4个光刻
  • 4个光刻机
  • 4个半导体
  • 3个全自动
  • 3个系统设计
  • 2个电机
  • 2个运动控制
  • 2个找平
  • 2个伺服
  • 2个图像
  • 2个平坦化
  • 2个曝光机
  • 2个自动化
  • 2个晶片
  • 2个晶圆
  • 2个控制研究
  • 2个机械手
  • 2个分辨率
  • 1个氮化镓
  • 1个导体

机构

  • 5个中国电子科技...
  • 1个华中科技大学
  • 1个中国电子科技...

资助

  • 1个国家科技重大...

传媒

  • 5个电子工业专用...
  • 1个半导体技术
  • 1个电子工艺技术
  • 1个自动化应用
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李霖
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：曝光机 找平 光刻机 分辨率 控制研究
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘玄博
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：光刻机 直流伺服电机 控制系统 运动控制 宽禁带半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宋婉贞
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：全自动 太阳能 伺服控制 PLC 半导体设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宫晨
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：全自动 引线键合机 半导体设备 图像映射 以太网
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈威
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所
研究主题：化学机械抛光 CMP 300MM硅片 有限元模型 有限元分析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0