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姜海涛
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
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合作作者
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
狄增峰
中国科学院上海微系统与信息技术...
薛忠营
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈达
中国科学院上海微系统与信息技术...
卞建涛
中国科学院上海微系统与信息技术...
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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狄增峰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 锗 离子注入
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薛忠营
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 石墨烯 绝缘体 弛豫 键合
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卞建涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 氢离子 快速热退火 迁移率
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陈达
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 离子注入 绝缘体 单晶薄膜
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刘林杰
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:弛豫 衬底 氢离子 快速热退火 绝缘体
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王曦
供职机构:清华大学
研究主题:衬底 SOI 硅 离子注入 绝缘体
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魏星
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超晶格 光刻胶 绝缘体上硅
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卞剑涛
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 锗 图形化 超薄
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高晓强
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:衬底 弛豫 超高真空化学气相沉积 分子束外延 快速热退火
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