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杨艺榕

作品数：26 被引量：3H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信电气工程更多>>

合作作者

领域

  • 20个电子电信
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机构

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资助

  • 12个国家自然科学...
  • 11个国家重点基础...
  • 7个国家高技术研...
  • 6个国家攀登计划
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  • 4个高等学校骨干...
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传媒

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  • 3个光学精密工程
  • 3个中国机械工程

地区

  • 20个上海市
  • 2个浙江省
共 22 条 记 录，以下是 1-10
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王文辉
供职机构：浙江大学
研究主题：硅 各向异性腐蚀 波导 制作方法 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴亚明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS 微机电系统 光开关 光纤准直器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐衍哲
供职机构：浙江大学信息与电子工程学系
研究主题：各向异性腐蚀 波导 波导器件 弯曲波导 阵列波导光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
任琮欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 超导薄膜 YBCO YBA 钼栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王东平
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：保护方法 牺牲层 深反应离子刻蚀 传感器 MEMS传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
江炳尧
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：离子束辅助沉积 离子注入 钼栅极 电子发射 低能
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
董荣康
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空穴 多晶硅薄膜 金属薄膜 金属 结点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王效东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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