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马高印
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北京航天控制仪器研究所
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合作作者
陈文元
上海交通大学微纳米科学技术研究...
张卫平
上海交通大学微纳米科学技术研究...
肖奇军
上海交通大学微纳米科学技术研究...
韩丰田
清华大学机械工程学院精密仪器与...
严小军
北京航天控制仪器研究所
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陈文元
供职机构:上海交通大学
研究主题:微陀螺 电极 陀螺 微机电技术 微机电系统技术
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张卫平
供职机构:上海交通大学
研究主题:微陀螺 电极 陀螺 微机电技术 扑翼
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严小军
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:陀螺加速度计 惯性仪表 测试系统 加速度计 环氧灌封胶
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韩丰田
供职机构:清华大学机械工程学院精密仪器与机械学系
研究主题:静电力 静电悬浮加速度计 硅 静电陀螺 静电
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肖奇军
供职机构:肇庆学院
研究主题:微陀螺 深海采矿 模糊-PID控制 升沉补偿 高压放大器
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王立奇
供职机构:上海交通大学
研究主题:微陀螺 压电陀螺 基于虚拟仪器 谐振频率 系统设计
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刘凯
供职机构:上海交通大学微纳米科学技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室
研究主题:微陀螺 微机电系统 磁悬浮 MEMS 分子马达
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庄海涵
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:MEMS陀螺 电极 刻蚀 硅 刚挠结合板
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邓忠武
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:磁悬浮 陀螺 陀螺仪 浮子 惯性仪表
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张龙
供职机构:北京航天控制仪器研究所
研究主题:硅 静电悬浮加速度计 接口板 堆栈 表头
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