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杨涛
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中国科学院微电子研究所
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李俊峰
中国科学院微电子研究所
赵超
中国科学院微电子研究所
李俊杰
中国科学院微电子研究所
高建峰
中国科学院微电子研究所
刘金彪
中国科学院微电子研究所
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李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
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赵超
供职机构:清华大学
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李俊杰
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高建峰
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刘金彪
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贺晓彬
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 光刻胶 电子束曝光 电子束 掩模
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王文武
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王桂磊
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 衬底 载流子迁移率 栅极
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罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 金属硅化物 沟道 衬底 半导体
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殷华湘
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
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