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檀柏梅

作品数:159 被引量:321H指数:11
供职机构:河北工业大学更多>>
发文基金:国家自然科学基金河北省自然科学基金国家科技重大专项更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺理学一般工业技术更多>>

领域

  • 133个电子电信
  • 63个金属学及工艺
  • 61个自动化与计算...
  • 51个理学
  • 46个电气工程
  • 46个一般工业技术
  • 37个化学工程
  • 36个文化科学
  • 26个经济管理
  • 25个机械工程
  • 20个建筑科学
  • 20个交通运输工程
  • 17个环境科学与工...
  • 15个医药卫生
  • 13个天文地球
  • 11个农业科学
  • 10个动力工程及工...
  • 10个轻工技术与工...
  • 7个航空宇航科学...
  • 5个冶金工程

主题

  • 80个机械抛光
  • 78个化学机械抛光
  • 69个CMP
  • 64个电路
  • 62个抛光
  • 59个抛光液
  • 51个集成电路
  • 45个活性剂
  • 42个去除速率
  • 42个衬底
  • 40个磨料
  • 40个表面活性
  • 40个表面活性剂
  • 39个ULSI
  • 37个离子
  • 36个单晶
  • 33个电池
  • 33个铜布线
  • 33个
  • 31个溶胶

机构

  • 131个河北工业大学
  • 12个天津大学
  • 4个天津工业大学
  • 4个中国科学院
  • 3个天津理工大学
  • 2个南开大学
  • 2个河北工学院
  • 2个教育部
  • 2个中国电子科技...
  • 2个中国科学院研...
  • 2个天津市光电子...
  • 1个福建工程学院
  • 1个河北师范大学
  • 1个福州大学
  • 1个华北光电技术...
  • 1个北京工业大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个河北大学
  • 1个沈阳药科大学
  • 1个太原重型机械...

资助

  • 80个国家自然科学...
  • 56个河北省自然科...
  • 48个天津市自然科...
  • 37个国家科技重大...
  • 36个国家中长期科...
  • 31个国家教育部博...
  • 23个河北省教育厅...
  • 19个河北省高等学...
  • 16个河北省教育厅...
  • 11个河北省科技支...
  • 10个国家高技术研...
  • 9个河北省科学技...
  • 9个河北省科技计...
  • 8个国家重点基础...
  • 8个博士科研启动...
  • 8个天津市科技攻...
  • 7个天津市应用基...
  • 7个天津市科技支...
  • 6个国家科技型中...
  • 6个天津市科技计...

传媒

  • 71个半导体技术
  • 60个微纳电子技术
  • 37个河北工业大学...
  • 29个Journa...
  • 24个功能材料
  • 19个电子器件
  • 18个人工晶体学报
  • 18个微电子学
  • 18个第十三届全国...
  • 17个稀有金属
  • 15个电子设计工程
  • 15个第十四届全国...
  • 14个固体电子学研...
  • 11个光电子.激光
  • 11个物理学报
  • 9个稀有金属材料...
  • 9个硅酸盐学报
  • 9个电镀与涂饰
  • 9个材料研究学报
  • 9个微细加工技术

地区

  • 125个天津市
  • 10个河北省
  • 2个北京市
  • 1个湖南省
  • 1个上海市
  • 1个福建省
140 条 记 录,以下是 1-10
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
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高宝红
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
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周建伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 硅溶胶 抛光液 硅晶片
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王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王如
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 SM 磁性能 生物医学材料
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建新
供职机构:天津工业大学
研究主题:等离子喷涂 反应等离子喷涂 复合粉 涂层 TIO
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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