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步扬

作品数:156 被引量:256H指数:10
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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王向朝
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李中梁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:正弦相位调制 偏振 医用光学 斯托克斯参量 干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐静浩
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:宽光谱 显微物镜 衍射极限 光学系统 光谱仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡燕民
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 照明系统 光学系统 像差 场曲
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤飞龙
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:偏振 斯托克斯参量 光场 全光 信号处理系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曹绍谦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:斯托克斯参量 偏振 光场 全光 偏振态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
南楠
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:医用光学 正弦相位调制 色散补偿 频域 光学相干层析
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
范李立
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学元件 压簧 拉簧 轮转 启停
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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