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王渭源

作品数：73 被引量：157H指数：6
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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陆德仁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度传感器 传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈德新
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：定子 热电堆 特性分析 微电机 压电超声马达
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王德宁
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：多触点 传感器 超导膜 HIGFETS GAALAS/GAAS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谭淞生
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 硅片 齿轮 微齿轮 金刚石薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王效东
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 静电马达 镍 陶瓷 微机械器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张健
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：定子 特性分析 压电超声马达 薄型 固有频率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李宝清
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 加速度计 电容式 栅结构 加速度传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊幸果
供职机构：中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题：反应离子刻蚀 微机械 电容式加速度传感器 硅传感器 玻璃衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
解健芳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金刚石薄膜 硅 Y分支 光功率分配器 功率分配器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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