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饶伏波
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供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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一般工业技术
电子电信
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合作作者
王跃林
中国科学院上海微系统与信息技术...
李铁
中国科学院上海微系统与信息技术...
张志祥
中国科学院上海微系统与信息技术...
金钦华
中国科学院上海微系统与信息技术...
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李铁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
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研究领域
王跃林
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 硅片
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供职机构
所获资助
研究领域
张志祥
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:镍 含碳 化学气相沉积法 微悬臂梁传感器 单壁碳纳米管
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
金钦华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:纳米 硅片表面 刻蚀工艺 结构部件 热学
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相关人物
供职机构
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