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张博军

作品数：29 被引量：24H指数：3
供职机构：中国科学院电子学研究所更多>>
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共 16 条 记 录，以下是 1-10
赵湛
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS MEMS技术 无线传感器网络 传感器 风速风向传感器
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方震
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 无线传感器网络 传感器 血压 MEMS技术
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王奇
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：MEMS 氮化硅 压力传感器 反应离子刻蚀 聚酰亚胺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
曾欢欢
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 氮化硅 聚酰亚胺 集成传感器 反应离子刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
武宇
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：MEMS 集成传感器 聚酰亚胺 传感器芯片 气压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈绍凤
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 MEMS 传感器 真空微电子压力传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈超
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：线性阵列电极 线阵 电泳芯片 微全分析系统 生物芯片
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秦宁
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微针 MEMS 电磁驱动 SU-8胶 硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏善红
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王溢仲
供职机构：中国科学院电子学研究所
研究主题：微型化 阵列电极 MEMS 芯片系统 CC1000
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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