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张方
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中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
黄惠杰
中国科学院大学
杨宝喜
中国科学院大学
朱菁
中国科学院大学
曾爱军
中国科学院上海光学精密机械研究...
陈明
中国科学院上海光学精密机械研究...
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黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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杨宝喜
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 照明系统 光学设计 光刻
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朱菁
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 紫外光刻 照明系统
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曾爱军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 移相 测量方法 偏振
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陈明
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 紫外光刻 照明系统 测量方法
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李璟
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射光学元件 光刻机 镜面 波带片 光源
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肖艳芬
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 衍射光学元件 离轴照明 微透镜阵列 分子激光器
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宋强
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:衍射光学元件 波带片 光刻机 离轴照明 离轴
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胡小邦
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 镜面 调整架 测量方法 光源
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王健
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学系统设计 光学设计 光学系统 衍射 长波红外
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