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蒋世磊
作品数:
99
被引量:176
H指数:8
供职机构:
西安工业大学光电工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
陕西省教育厅省级重点实验室科研与建设计划项目
西安工业大学校长基金
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相关领域:
机械工程
理学
电子电信
一般工业技术
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合作作者
张锦
西安工业大学光电工程学院
孙国斌
西安工业大学光电工程学院
程刚
中国科学院光电技术研究所
魏全忠
中国科学院光电技术研究所
弥谦
西安工业大学光电工程学院
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张锦
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光刻系统 干涉光刻 光刻 光刻技术 激光干涉
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孙国斌
供职机构:西安工业大学光电工程学院
研究主题:光学设计 衍射光学元件 光阑 多光束干涉 磁控溅射
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程刚
供职机构:中国矿业大学
研究主题:并联机构 并联 动平台 电牵引采煤机 电牵引
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魏全忠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学系统 光刻物镜 投影光刻物镜 亚微米 成象
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弥谦
供职机构:西安工业大学
研究主题:离子能量 类金刚石膜 离子镀 类金刚石薄膜 光学薄膜
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冯伯儒
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 相移掩模 光刻系统 干涉光刻 掩模
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供职机构
所获资助
研究领域
栗坤
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学镜头 齿轮传动机构 焊机 观察镜 观察窗
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汪宝旭
供职机构:中国工程物理研究院总体工程研究所
研究主题:反射镜 大口径反射镜 气室 核磁共振 超大型
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宗德蓉
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:声光调制器 光刻系统 干涉光刻 声光器件 超声频率
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研究领域
马丽娜
供职机构:西安工业大学
研究主题:多光束干涉 光刻 光刻系统 基片 干涉光刻
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