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陈光焱
作品数:
33
被引量:107
H指数:8
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
中国工程物理研究院科学技术发展基金
四川省教育厅重大培育项目
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相关领域:
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理学
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合作作者
王超
中国工程物理研究院电子工程研究...
吴嘉丽
中国工程物理研究院电子工程研究...
赵龙
中国工程物理研究院电子工程研究...
杨涛
西南科技大学信息工程学院
施志贵
中国工程物理研究院电子工程研究...
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王超
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:热电池 惯性开关 阴极材料 脉冲激光沉积 微机电系统
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所获资助
研究领域
吴嘉丽
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:惯性开关 微机电系统 G值 LPCVD 多晶硅薄膜
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赵龙
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微机械 MEMS 开关 微加速度开关 微电子机械系统
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郑英彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 太赫兹 键合 加速度计
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杨涛
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:故障诊断 惯性开关 核辐射 无线传感器网络 计算流体力学
发表作品
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研究领域
武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
发表作品
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 掩膜 结构层厚度
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何晓平
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微加速度计 加速度计 灵敏度 谐振 刚度
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蔺怡
供职机构:西南科技大学信息工程学院
研究主题:惯性开关 微流体 微机械加工 水银 开关
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贾建援
供职机构:中兴通讯股份有限公司
研究主题:微电子机械系统 MEMS 微通道 原子力显微镜 PETRI网
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