2024年8月30日
星期五
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顾忠华
作品数:
43
被引量:5
H指数:1
供职机构:
清华大学
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发文基金:
国际科技合作与交流专项项目
国家自然科学基金
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相关领域:
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合作作者
潘国顺
清华大学研究院
龚桦
清华大学研究院
陈高攀
清华大学
邹春莉
清华大学研究院
罗桂海
清华大学研究院
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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所获资助
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龚桦
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 抛光 硅晶片 抛光液 二氧化硅溶胶
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相关人物
供职机构
所获资助
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陈高攀
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光液 抛光 离子交换法 机械抛光 化学机械抛光
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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邹春莉
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 化学机械抛光 磨粒 硅晶片 CMP
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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罗桂海
供职机构:清华大学研究院
研究主题:抛光 抛光液 硅晶片 化学机械抛光 划痕
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王同庆
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
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王宁
供职机构:清华大学研究院
研究主题:化学机械抛光 磨粒 络合剂 微电子 抛光
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相关人物
供职机构
所获资助
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