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周建伟

作品数:60 被引量:127H指数:6
供职机构:河北工业大学更多>>
发文基金:河北省自然科学基金国家中长期科技发展规划重大专项国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信金属学及工艺交通运输工程机械工程更多>>

领域

  • 62个电子电信
  • 35个自动化与计算...
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  • 27个一般工业技术
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  • 4个哲学宗教

主题

  • 46个化学机械抛光
  • 46个机械抛光
  • 44个抛光液
  • 43个CMP
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  • 42个抛光
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  • 32个去除速率
  • 27个抛光速率
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  • 27个碱性抛光液
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  • 25个表面活性剂
  • 24个溶胶
  • 24个阻挡层
  • 22个铜布线

机构

  • 65个河北工业大学
  • 4个天津大学
  • 3个河北工学院
  • 3个天津理工大学
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  • 1个上海交通大学
  • 1个天津工业大学
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  • 1个云南师范大学
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  • 1个河北科技大学

资助

  • 36个河北省自然科...
  • 33个国家自然科学...
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  • 30个国家中长期科...
  • 26个国家科技重大...
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传媒

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  • 8个电镀与涂饰
  • 8个电子器件
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  • 7个电子工艺技术
  • 7个表面技术
  • 7个材料导报
  • 7个微细加工技术
  • 6个光电子.激光
  • 6个物理学报

地区

  • 58个天津市
  • 5个河北省
  • 1个北京市
  • 1个新疆
  • 1个浙江省
66 条 记 录,以下是 1-10
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李薇薇
供职机构:河北工业大学信息工程学院
研究主题:CMP ULSI 超大规模集成电路 化学机械抛光 化学机械全局平面化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:卫星电源 太阳电池阵 化学机械抛光 CMP 空间电源
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
牛新环
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 碱性抛光液
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高宝红
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何彦刚
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 阻挡层 CMP 化学机械抛光 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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