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宋崇申
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供职机构:
清华大学
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合作作者
王喆垚
清华大学
刘理天
清华大学
蔡坚
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陈倩文
清华大学
徐向明
清华大学
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刘理天
供职机构:清华大学
研究主题:MEMS 硅基 压力传感器 硅 微机械
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王喆垚
供职机构:清华大学
研究主题:键合 三维集成电路 辅助圆 圆片 高深宽比
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蔡坚
供职机构:清华大学
研究主题:封装结构 封装方法 芯片 基板 键合
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陈倩文
供职机构:清华大学
研究主题:三维集成电路 辅助圆 刻蚀 互连 通孔
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徐向明
供职机构:清华大学
研究主题:键合 变速率 苯并环丁烯 高深宽比 辅助圆
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