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王帆

作品数：13 被引量：34H指数：4
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
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共 11 条 记 录，以下是 1-10
王向朝
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 波像差 干涉仪 掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
施伟杰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 空间频率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张冬青
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 成像质量 像差 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马明英
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 投影物镜 像差 成像质量 光学测量
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
何乐
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 工件台 不平度 测量系统 激光干涉仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李思坤
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：掩模 光刻机 投影物镜 光刻 极紫外光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴凤钊
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：测量方法 波像差 光栅 波前 剪切干涉
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
步扬
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：偏振 光刻机 斯托克斯参量 偏振态 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐锋
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：波像差 干涉仪 剪切干涉 投影物镜 光栅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段立峰
供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题：光刻机 像差 波像差 投影物镜 主成分
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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