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王纯

作品数:2 被引量:3H指数:2
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
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领域

  • 3个电子电信
  • 2个理学
  • 1个金属学及工艺
  • 1个机械工程
  • 1个电气工程

主题

  • 3个离子注入
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地区

  • 3个北京市
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李秀琼
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:掺杂 半导体 集成电路 辉光放电 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王培大
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:离子注入 铒 掺杂 SCC 护环钢
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:辉光放电 电子束 掺杂 硼 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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