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蒋玉龙
作品数:
47
被引量:37
H指数:3
供职机构:
复旦大学
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机械工程
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合作作者
茹国平
复旦大学
屈新萍
复旦大学
李炳宗
复旦大学
张卫
复旦大学
于浩
复旦大学
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 微电子 NISI 硅化物 SI
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 硅化物
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI 微电子
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 晶体管 存储器 电极 隧穿
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于浩
供职机构:复旦大学
研究主题:金属 存储器 微电子 锗 测量信号
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万景
供职机构:复旦大学
研究主题:晶体管 绝缘层上硅 掺杂 沟道 正反馈
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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王琳琳
供职机构:复旦大学
研究主题:硅化钛 肖特基接触 肖特基 势垒 微电子
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王井舟
供职机构:复旦大学
研究主题:存储器 细丝 电流开关 电场分布 底电极
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王晓荣
供职机构:复旦大学
研究主题:衬底 快速热退火 金属栅 功函数 金属性
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