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贺晓彬

作品数:94 被引量:2H指数:1
供职机构:中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金:国家科技重大专项更多>>
相关领域:电子电信文化科学自动化与计算机技术交通运输工程更多>>

领域

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主题

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  • 25个氮化硅
  • 25个氧化物
  • 24个淀积
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  • 23个选择性刻蚀
  • 21个电阻

机构

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资助

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传媒

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地区

  • 42个北京市
42 条 记 录,以下是 1-10
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨涛
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 衬底 半导体器件 化学机械平坦化 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘金彪
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 沟道 掺杂 衬底 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 金属硅化物 沟道 衬底 半导体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
唐波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 介质层 波导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孟令款
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 半导体器件 粗糙度 电子束光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李春龙
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 衬底 刻蚀 掩模 粗糙度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵超
供职机构:清华大学
研究主题:半导体器件 衬底 栅极 沟道 金属硅化物
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 纳米线 电子设备
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高建峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 半导体器件 衬底 沟道 牺牲层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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