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刘靖东
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被引量:1
H指数:1
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东南大学
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一般工业技术
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合作作者
尚金堂
东南大学
罗新虎
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蒋明霞
东南大学
秦顺金
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尚金堂
供职机构:东南大学
研究主题:圆片 圆片级 硅圆片 微槽 阳极键合
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罗新虎
供职机构:东南大学
研究主题:硼硅玻璃 热成型 球形 玻璃球 分相
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于慧
供职机构:东南大学
研究主题:硼硅玻璃 微槽 圆片级 圆片 硅圆片
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蒋明霞
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研究主题:衬底 多晶硅 残余应力 偏转 测量方法
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秦顺金
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魏文龙
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研究主题:芯片 硼硅玻璃 圆片 原子钟 硅衬底
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王亭亭
供职机构:东南大学
研究主题:芯片 硼硅玻璃 原子钟 硅衬底 圆片
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