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刘新宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:氮化镓 刻蚀 欧姆接触 ALGAN/GAN 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵玉印
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:刻蚀 掩模 反应离子刻蚀 多晶硅栅 碳化硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李俊峰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 衬底 沟道 栅极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
申华军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:欧姆接触 碳化硅 刻蚀 INGAP/GAAS_HBT 肖特基二极管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白云
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 SIC 衬底 微波等离子体 肖特基二极管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨谦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 掩模 刻蚀 衬底 场板
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
汤益丹
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:碳化硅 衬底 微波等离子体 含氧气体 肖特基接触
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
熊文娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:衬底 锗 波导结构 波导传输 光电探测器
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王大海
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:垂直腔面发射激光器 GAN 半导体器件 晶圆片 散热能力
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱鹤
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:英文 SOI 刻蚀 自对准硅化物 射频
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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