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钱劲
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5
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H指数:2
供职机构:
北京大学
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国家重点基础研究发展计划
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机械工程
自动化与计算机技术
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合作作者
张大成
北京大学微电子学研究院
王小保
北京大学微电子学研究院
赵亚溥
中国科学院力学研究所
王兆江
北京大学
王阳元
北京大学
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张大成
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 MEMS 刻蚀 硅 键合
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王小保
供职机构:北京大学
研究主题:单片集成 集成化 流量计 CMOS电路 大量程
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张威
供职机构:辽宁师范大学
研究主题:冰川 末次冰期 压阻式 磁化率 辽东半岛
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王兆江
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 高深宽比 感应耦合等离子体 锚点
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李婷
供职机构:北京大学
研究主题:微电子机械系统 刻蚀 键合 牺牲层 成品率
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赵亚溥
供职机构:中国科学院力学研究所
研究主题:微电子机械系统 液滴 粘附 冲击载荷 物理力学
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刘蓓
供职机构:北京大学
研究主题:压阻式 芯片 裁剪 MEMS 压阻式压力传感器
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王阳元
供职机构:北京大学
研究主题:场效应晶体管 逻辑器件 沟道 SOI 集成电路
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余同希
供职机构:香港科技大学
研究主题:冲击载荷 塑性动力响应 塑性 弹塑性 动力响应
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张立宪
供职机构:中国科学院力学研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS器件 CAD 计算机模拟 计算机辅助设计
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