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张学一

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供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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陈鲁
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：表面等离激元 散射 反射光 晶圆 金薄膜
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夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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张超前
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：滚轴 接枝 采集器 表面改性 高频脉冲电源
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路鑫超
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：表面等离激元 斜入射 等离激元 表面光学 反射光
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刘立拓
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：极紫外 重复频率 成像 反射光 像素
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杨乐
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：波段 TURBO译码器 跟踪环路 鉴相器 基带信号处理
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张朝前
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体 常压等离子体 绝缘介质 自由基 等离子体发生器
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