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屈明山
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30
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供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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中国工程物理研究院科学技术发展基金
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相关领域:
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合作作者
袁明权
中国工程物理研究院电子工程研究...
张茜梅
中国工程物理研究院电子工程研究...
熊壮
中国工程物理研究院电子工程研究...
孙远程
中国工程物理研究院电子工程研究...
武蕊
中国工程物理研究院电子工程研究...
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张茜梅
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 微电子机械系统 键合
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袁明权
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 压敏电阻 微机械加速度传感器 微电子机械系统 固有频率
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熊壮
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 加速度计 极板 易加工 微加速度计
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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武蕊
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 键合 固有频率
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孙远程
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度传感器 固有频率 压敏电阻 微机械加速度传感器 侵彻
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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王海青
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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李寅鑫
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:GAAS光导开关 永磁体 光导开关 耐压 击穿
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苏伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 石英 键合 刻蚀 结构层
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